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净化工程之无尘车间标准

发布日期:2019-07-19 18:23 浏览次数:

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无尘车间标准:

依据美国政府颁布的标准,可将无尘车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级:

1级:这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。

10级:这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

100级:很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。

1000级:这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。

10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。

100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

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等 级每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数每立方米(升)空气中》5μm尘粒数100《35*100(〈3.5〉1000《35*1000(〈35〉《250(〈0.25〉10000《35*10000(〈350〉《2500(〈2.5〉100000《35*100000(〈3500〉《25000(〈25〉

解释:目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多,级数越低洁净度就越高,质量越好。如果无尘车间的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5µm,例如,1级、10级、100级东莞无尘车间最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5µm,无尘车间等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘车间之洁净度必须优于1000级。

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